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【2h】

Competition between gettering by implantation-induced cavities in silicon and internal gettering associated with SiO{sub 2} precipitation

机译：硅中注入诱导空穴吸杂与siO {sub 2}沉淀相关的内部吸杂之间的竞争

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作者
McHugo, S.A.; Weber, E.R.; Myers, S.M.; Petersen, G.A.;
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年度 1996
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